汇川 INOVANCEPRD-000448

PS1200系列中频正弦波等离子电源

PS1200系列

真空镀膜设备优质膜层沉积的法宝

PS1200是汇川技术针对高质量要求镀膜场景开发的40kHz中频正弦波单路输出电源,采用双桥磁耦合并联+3级串并谐振滤波技术,实现了宽范围、低谐波、高质量正弦波电压及稳定的功率输出,助力真空镀膜沉积设备进一步提升膜层质量。

产品介绍

PS1200是汇川技术针对高质量要求镀膜场景开发的40kHz中频正弦波单路输出电源,采用双桥磁耦合并联+3级串并谐振滤波技术,实现了宽范围、低谐波、高质量正弦波电压及稳定的功率输出,助力真空镀膜沉积设备进一步提升膜层质量。

产品特点与规格

性能卓著:300VAC~972VAC超宽输出电压,10:1阻抗匹配<br />功率、电压、电流三种控制模式<br />多种电弧检測与抑制功能<br />100ns瞬态电弧检测,2us抑弧动作; 稳定可靠:模块全密封设计,隔绝外界环境影响<br />内部集成水风换热器,加快腔体冷热循环<br />一体化水冷基板贴装,提升散热速率<br />单机故障自动切除,100ms主动均分功率; 易用兼容:7寸TFT彩色显示屏<br />4U标准机箱,尺寸归一无缝替代<br />用户接口兼容主流设计,现场线线即插即用<br />支持RS485通讯远程控制; 工艺突破:单机功率密度提升50%,多机并联6台可达90kW<br />多组系统输出相位可调(同步、移相)<br />抑弧功率损失补偿<br />多层预警机制,为Uptime延续多一分

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