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中频和直流电源
中频和直流等离子电源涵盖中频正弦波、中频方波、直流、直流脉冲、直流脉冲偏压等多种输出规格，广泛应用于PVD、PECVD等真空镀膜应用场景。
Products
中频和直流电源产品
汇川 INOVANCE
PS1200系列中频正弦波等离子电源
PS1200系列PRD-000448
PS1200是汇川技术针对高质量要求镀膜场景开发的40kHz中频正弦波单路输出电源，采用双桥磁耦合并联+3级串并谐振滤波技术，实现了宽范围、低谐波、高质量正弦波电压及稳定的功率输出，助力真空镀膜沉积设备进一步提升膜层质量。
汇川 INOVANCE
PU1200系列中频、直流、直流脉冲三合一电源
PU1200系列PRD-000449
PU1200系列电源是汇川技术针对通用镀膜机开发的多功能电源。内置功能丰富，集成了多种输出波形，全面适配不同靶材和镀膜工艺。
汇川 INOVANCE
PB1200系列直流脉冲偏压等离子电源
PB1200系列PRD-000450
PB1200是汇川技术为等离子镀膜设备反向偏压场景开发的电源。单机额定输出功率20KW，最大输出电压1200V，反向偏压最大输出电压100V，输出频率2kHz~100kHz可调，具有快速灭弧和高精度功率输出的能力；适用于物理气相沉积设备（PVD），可应用于真空行业PVD镀膜设备、光伏行业异质结电池片镀膜等场景。
汇川 INOVANCE
PU600系列双路输出光伏行业专用电源
PU600系列PRD-000451
PU600系列电源是汇川技术针对光伏PECVD正背膜镀膜场景开发的方波电源，涵盖双路20kW、双路30kW输出，可实现5kHz~50kHz范围内的频率调节。采用高性能、高品质、高功率密度设计，可协助提升光伏镀膜设备效率、良率。
汇川 INOVANCE
PU800系列双路输出光伏行业专用电源
PU800系列PRD-000452
PU800系列电源是针对光伏PE-POLY工艺特点开发的等离子电源，针对隧穿层的膜层特性要求，提升了镀膜电压，扩宽了输出频率。助力POLY工艺优化提升良率